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 目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相 沉积法,R,包括低压化学气相沉积(LPCVD)和等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。 此外,液相外延法(LPPE)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。 化学气相沉积主要是以 SiH2C...


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目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相 沉积法,R,包括低压化学气相沉积(LPCVD)和等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。 此外,液相外延法(LPPE)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。 化学气相沉积主要是以 SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4 或 SiH4,R230,为反应气体,在一定的保护气氛下 反应生成硅原子并沉积在加热的衬底上,衬底材料一般选用 Si、SiO2、Si3N4 等。

 


 

 

简介WT-2/WT-3(AVR)是一款基于半波相控整流励磁原理的发电机自动电压调节器。通过调节发电机的励磁电流而稳定交流发电机输出电压的设备。用于以辅助绕组、相电源等作为励磁电源发电机。具有稳定性高、反应速度快、安装维护方便等特点。

 


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