吉林大学研制的一种由压电陶瓷直接驱动的伺服阀。研制者针对其柔性铰链进行了有限元分析，并测试了这种伺服阀的幅频特性，（如图12所示），频宽为650Hz，静态特性在闭环控制下为滞环小于1%，分辨率小于0.03%，喷射式点胶阀，抗污染能力强。另外，由于用PZT材料的逆压电器件代替力矩马达，所以响应时间非常短；替代了电磁元件，对外界不产生电磁干扰；位移输出极高，可以完全满足现代精密高速控制系统的需要。
放大原理的直动式压电伺服阀。杠杆式的位移放大机构位于整个阀体和其上方的压电叠堆的同侧，使它们的运动方向平行，也同时使阀体的结构较为紧凑。当压电叠堆伸长使输入位移为Di时，通过柔性铰链放大杠杆放大到输出端，位移变为D0传递至阀芯，再推动弹性回复板实现滑阀的移动。在压电叠堆刚性满足动态性能要求的条件下，系统的动态性能的高低取决于弹性回复板的刚度，刚度越高，系统响应的建立时间越短，其响应速度越快。
国内主要应用领域
压电阀在国内的应用涉及到很多的领域，近年来主要集中在对智能阀门定位器的研究上，如对智能阀门定位器的自主设计、智能阀门定位器在V型滤池中的应用、智能阀门定位器在气动执行器上的应用等；在托克马实验中作为送气阀的压电阀在控制准确送气量的性能上的研究，主要针对压电阀在该实验中的送气率和脉冲送气特性进行了相关的研究和测试。另外，国内还对压电阀在压强和流量方面的控制进行了一定的研究。
5 发展趋势
压电阀本身具有尺寸小、响应速度快、精度较高、容易控制等优点，其发展方向将越来越趋向于微型化、精，点胶阀，确化、智能化，它将更多地应用于微流控、精密机械和智能控制等技术中。如在临床所需的检测设备或者是临床——疗，的手术设备当中，压电阀可以满足所需尺寸较小、工作环境特殊的要求，能达到控制——确，加热点胶阀，工作风险低的目的，既能提高临床治，疗的成功率，双液 点胶阀，又能减少患者痛苦。同样，这些特点也能应用于航空航天、医药、微制造科技等领域，使应用系统更加的可靠、精密、可控，甚至向微型化、智能化发展。对于压电阀本身结构、工作环境以及材料的进一步研究也许能将压电阀更多地应用到现代科技的前沿领域。压电阀在现代科学技术中具有很大的发展潜力，并且将被更广泛的应用。
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