Ulvac爱发科真空泵油：Ulvac R 2 / Ulvac R 4 / Ulvac R 7
低固有蒸气压、高熔沸点：
固有蒸气压太高会限制最终的真空压力。除了油和润滑脂 的真空兼容性，在合金中，必须考虑金属固有的蒸气压或 其在合金中的分压。示例：对于黄铜制品，爱发科，锌在高真空中 的分压被限制在允许温度大约为 100°C。
耐腐蚀性、耐化学性：
示例：很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。 因此，有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封 件。尤其是薄壁部件，如金属波纹管，容易受到腐蚀。如 有必要，应该在测试中确定其使用寿命。
9，爱发科PVD-N360-1专用，抗乳化性。真空泵在运转过程中，系统内的水分与冷气体会排入泵油中，如果真空泵油的抗乳化性不好，它将与混入的水形成乳化液，爱发科PVD-180专用油，使水不易从循环油箱的底部放出，爱发科GLD-N136润滑油，从而可能造成真空度下降和润滑不良。
因此抗乳化性是工业润滑油的一项很重要的理化性能。尤其在医药、食品、陶瓷等工业使用真空干燥过程中，泵油的抗乳化性能更至关重要。抗乳化性能好的泵油油水分离能力强，水蒸气和冷凝气体通过开启气镇阀，会排出部分水蒸气。另外，低黏度泵油的抗乳化能力比高黏度泵油要好。
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