Edwards半导体专用爱德华真空泵E2M80维修
2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。
3）在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但价格较贵，因此难以广泛使用。
保护真空系统
当系统中有大量冷凝蒸气时 ， 应打开气镇 ，与真空泵相连通 ， 气镇阀一定要完全打开。这时可在气镇上安装气镇控制电磁阀 ， 以提高气镇控制的自动化和远程控制能力。使用中 ，爱德华真空泵e2m80， 经常发现真空泵与真空系统连接的透明塑料管内壁发黄或焦黄 ， 其原因是真空泵返油或油蒸气冷凝所导致 ，爱德华真空泵， 这只是表面现象 ， 更深一层大家看不到的是所返油蒸气进入分析仪器 ，如质谱仪的分析场和离子源 ，爱德华真空泵rv12， 这将导致分析仪器的性能下降 ， 甚至不能工作 ，爱德华真空泵 rv8， 需要清洗维修。为防患于未然 ， 应当在真空泵入口与真空系统之间安装电磁阀 ， 在真空泵关闭时 ， 电磁阀自动打开 ， 往真空泵送入大气 ， 减小负压 ， 防止返油发生。
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