Edwards半导体专用爱德华真空泵E2M80维修
2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。
3）在泵入口设置吸附阱，爱德华真空泵油70#，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，昆明爱德华真空泵，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但价格较贵，因此难以广泛使用。
注油步骤
按照以下所述给泵注油。
1. 打开注油塞 。
2. 将油注入泵中，爱德华真空泵油ul19，直到油位刚好达到观察窗 顶部前盖上标示的 MAX 标记。如果油位超过 MAX 标记，应打开排
油阀 ，爱德华真空泵油70，从泵中放出多余的油。
3. 几分钟后，再次检查油位。如果此时油位低于 MAX 标记，可向泵内再注入一些油。
4. 重新拧上注油塞。用手拧紧注油塞。不要拧得过紧。
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