液体软氮化处理用的材料为铁金属，氮化后的表面硬度以含有 Al，金属热处理加工，Cr，Mo，金属热处理厂，Ti元素者硬度较高，而其含金量愈多而氮化深度愈浅，如炭素钢Hv 350～650，不锈钢Hv 1000～1200，氮化钢Hv 800～1100。
液体软氮化适用于耐磨及耐疲劳等汽车零件，缝衣机、照相机等如气缸套处理，气门阀处理、活塞筒处理及不易变形的模具处。
但当硬化层极薄时，其残余压应力太小，淬火热处理，且拉应力极大值接近于表面，它助长了外加负荷的拉应力，这时将以硬化层稍下为起点发生破坏，所以疲劳强度反而降低。同时，硬化层极厚时也不利，表层拉应力将导致淬裂，这时的应力分布同油中淬火透时的应力相似，东城热处理，当然是纵向淬裂。
除了上述较为重要的淬硬层深度的影响外，材料的成分和组织也有一定的影响。
将各种碳钢及低合金钢处理成同样的组织，高频淬火后测其残余应力可见含碳量越低或淬透性越差的钢，硬化层的残余切向应力越大。
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