UV光解氧化反应机理 ：在波长范围170nm-184.9nm（704 kj/mol - 647 kj/mol）高能紫外线的照射作用下，一方面空气中的氧气被裂解，产生的氧原子和氧气分子了组合产生臭氧（见反应①、②）；另一方面将恶臭气体的化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团（见反应③）；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使恶臭气体最终被裂解、氧化生成简单的稳定的化合物，如CO2、H2O、SO2、N2等（见反应④）。
注：
1、恶臭物质能否被裂解，取决于其化学键键能是否比所提供的UV光子的能量要低，也就是光能量必须高于恶臭气体分子键键能。 2、裂解反应的时间极短（＜0.01s），氧化反应（见反应④）的时间需2-3s。
UV光解除臭设备利用高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O一+O*
（活性氧）O+O2→O3（臭氧），臭氧对有机物具有极强的氧化作用，喷漆车间尾气净化，对恶臭气体及其它刺激性异味有快速清除效果，尾气净化，利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌分子键，涂装车间尾气净化，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
UV光解除臭设备具有适应性强、运行成本低、设备占在面积小等特点，广泛应用于炼油厂、橡胶厂、化工厂、制药厂、污水处理厂、垃圾转运站、餐厨垃圾处理厂、饲料厂、印染厂、喷涂厂等各种有污染源恶臭气体的脱臭净化处理。
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