有油真空泵：是指在真空泵工作期间，需要油来润滑、密封、或者以油为工作介质的真 空泵。主要特点就是密封性能好，极限真空可以做的稍高。如旋片泵、扩散泵等。但是对于真空室内会造成一定的污染。无油真空泵：就是工作期间不用油做为工作介质和密封的，主要是在工作空间内没有油，如涡旋泵、螺杆泵、低温泵等，共同组成的系统可以获得无油洁净的空间，这是真空发展的趋势。无油真空泵是一种不需要有做润滑既能运转工作的机械真空泵。它的结构简单，操作容易， 维护方便不会污染环境等优点而且无油真空泵耐用性好，是抽真空，压缩，两用真空泵，是一种应用范围非常广泛获得真空的基本设备。
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