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真空冶炼、半导体提纯、特种电真空器件和电光源的排气都要求在10-2~10-5托之间迅速排除大量气体，实验室为创造无噪声、无振动的环境需要长时间内停止机械泵的工作，这些都提出了需要极限真空度高、排气量大和前级耐压高的排气设备等特殊要求。
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