2、合适的粘度良好的粘温特性真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。
3、良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，爱发科真空泵油r-7，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，青岛爱发科真空泵，使系统内蒸气压升高，日本爱发科真空泵油，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的热氧化安定性。
Ulvac爱发科真空泵：VDN301 / VDN401 / VDN601 / VDN901 / VDN1501 / VDN2401
Ulvac爱发科真空泵油：Ulvac R 2 / Ulvac R 4 / Ulvac R 7
真空系统的核心是真空室，它是针对具体应用量身定做的。 它包括应用并将其可靠地与外部分离或防止环境受内部流程 影响。不管干燥过程是否需要高真空环境，等离子体过程都 需要在中或高真空环境下进行，而表面研究也需要在高真空 环境下进行：– 真空室必须始终机械地承受其与大气的压 差。
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