捷扬光电的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控；其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的捷扬光谱分析软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值，可以实现膜层厚度的在线监测，并可以输出到Excel文件进行过程控制。
HCE系列光谱仪的应用
HCE系列微型光谱在工业领域有广泛的应用。
应用：
●LED分光检测。
●纸张、涂料等的颜色检测。
●液体吸光度度检测。
●玻璃、镜片透过率、反射率检测。
●薄膜厚度检测。
微型光谱仪结构上的特点使得其应用领域和传 统光谱仪有很大的不同。由于没有可动部件,它可以在震动大的环境中工作,也可在无人区作业。美国国家航空和宇宙航行局在飞行器上安装了微型光谱仪通过测量海水中叶绿素对光的反射,收集全球变暖的数据,寻求解决措施。良好的密封特性使它可以在污染较为严重的环境下工作,美国离子公司生产了一种专门用于汽车和轮船的尾气检测的微型光谱仪,它的价格不到1000美元。微型光谱仪易于操作,易于扩展,它真正地使光谱技术从实验室走向更为广泛的生活空间。德国一家公司研制出的手提式分光测色仪,可用于板金、金属、镀膜、烤漆、纺织、出版等行业颜色质量的监测和控制。
