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里其乐滤芯：
731400，731401，里其乐真空泵叶片，731468，731630
3，里其乐真空泵排气滤芯，依据工艺气量确定规格，机组需要抽除的气体量，里其乐真空泵备件，一般表示方法有单位时间内通过的质量、标准体积
、工况体积、摩尔数等，必须折算到入口条件下的体积气量，与选型样本对照。但是一般情况下，选型
样本提供了理论抽速数据，但是特定条件下的气量需要计算确定。比如，经过计算工艺要求入口压力为
1000Pa时，气量为500L/s，不能选用主泵为600L/s，需要经过根据前级泵的类型、规格计算。在很
多情况下1台600L/s的罗茨真空机组与6台100L/s旋片泵的实际抽速不是一个相当的数量。
里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303
里其乐真空泵油：MULTI-LUBE 100
溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中主要成分是氢，而钛升华泵抽氢效果好。
一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵，而大型系统以钛升华泵作主泵，用这种机组可得到10-9Pa的
真空度。
在超高真空系统中，里其乐真空泵，要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤，那么泵只需要250℃烘
烤，真空度到10-5Pa后，缓慢升到250℃，时间为10~20h。
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