Edwards半导体专用爱德华真空泵E2M80维修
2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。
3）在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但价格较贵，因此难以广泛使用。
保护真空泵
当真空线路上可能存在冷凝蒸汽并不断流向泵时 ， 应当使用入口捕捉器 ; 当可能存在水蒸气 ，爱德华真空泵油20， 并要求快速抽到低压力时 ， 推荐使用入口干燥阱。当用真空泵抽化学侵蚀或腐蚀性蒸气或气体时 ， 气镇的流量不能完全保护真空泵 ， 这时应使用化学入口阱或化学惰性真空泵油 ; 当抽油溶性蒸汽时 ， 泵油的污染不可避免 ，爱德华真空泵油代理， 这时可采用热绝缘泵外壳来提高泵温或增加气镇数量 ， 以降低泵油污染。在抽完腐蚀性或油溶性蒸汽之后 ，重庆爱德华真空泵， 应将泵与系统分离 ，爱德华真空泵gv80用油， 在气镇流量较大时让泵工作至少 30 分钟 ， 这将有益于泵的保护。为防止任何固体颗粒从真空系统进入真空泵 ， 应当安装入口过滤器。
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