HCE系列光纤光谱仪真空镀膜的监控
光纤光谱仪为真空室内镀膜过程的监控提供了一种灵活的测量手段，它可以方便地把光引入并引出真空室或洁净工作仓，USB光谱仪，同时选择镀膜过程分析所需要测量的参数。在实际的在线生产中，可以在工作仓中放置几个探头来检测整个生产过程。图示为真空室镀膜过程监控的典型实验布局。在这里一个反射型光纤探头用来在线监测镀膜过程。氘-卤素灯发出的光被导入真空室并传导到反射探头上，光谱仪，反射光由反射探头传导到光谱仪中；也可以再增加一个通道作为参考测量来补偿光源的波动。
HPF系列光纤光谱仪用于氧含量的测量
氧含量的测量原理是通过测量光纤探头荧光图案的光致荧光衰减来分析氧含量的变化，紫外可见近红外光谱仪，具体结构如图2-3所示。其采用镀有钌氧化物的探头，探头通过Y形光纤和LED光源以及光谱仪连接，如果探头尖端的钌错体遇到氧分子，其激发出来的荧光就会减弱，根据探测的荧光信号就可以计算氧分压。
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