无油真空泵又称干式真空泵，泵的工作腔内没有任何介质可以原汁原味的回收气体，由于无油真空泵叶片材质多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨胀，损坏，但是无油真空泵用起来比较干净，在一些环境要求比较高的地方可以使用；而有油真空泵像旋片泵是靠介质油来工作，有油真空泵是通过油来密封，润滑，降温，这个类型的真空泵可以接受一点水分，同样的水环泵是靠水来工作（那么水就受到污染）
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