截至2013年，对低温等离子体的作用机理研究认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子，其中高能电子与气体分子（原子）发生撞，定型机废气净化设备，将能量转换成基态分子（原子）的内能，喷油废气净化设备，发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。一方面打开了气体分子键，生成一些单分子和固体微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性极强的O3，在这一过程中高能电子起决定性作用，离子的热运动只有副作用。
废气治理工艺方法
生物滤池式脱臭法
* 脱臭原理：恶臭气体经过去尘增湿或降温等预处理工艺后，漆包线废气净化设备，从滤床底部由下向上穿过由滤料组成的滤床，废气净化设备，恶臭气体由气相转移至水—微生物混和相，通过固着于滤料上的微生物代谢作用而被分解掉。
* 适用范围：目前研究最多，工艺最成熟，在实际中也最常用的生物脱臭方法。又可细分为土壤脱臭法、堆肥脱臭法、泥炭脱臭法等。
* 优点：处理费用低。
* 缺点：占地面积大，填料需定期更换，脱臭过程不易控制，运行一段时间后容易出现问题，对疏水性和难生物降解物质的处理还存在较大难度。
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