NH3 →〔N〕Fe + 3/2 H2
经分解出来的N，随而扩散进入钢的表面形成。相的Fe2 - 3N气体渗氮，一般缺点为硬化层薄而氮化处理时间长。
气体氮化因分解NH3进行渗氮效率低，故一般均固定选用适用于氮化之钢种，如含有Al，Cr，Mo等氮化元素，否则氮化几无法进行，一般使用有JIS、SACM1新JIS、SACM645及SKD61
影响调质工件的质量，操作工的水平是个重要因素，同时，不锈钢真空热处理，还有设备、材料和调质前加工等多方面的原因，我们认为：
（一）工件从加热炉转移到冷却槽速度缓慢，工件入水的温度已降到低于Ar3临界点，产生部分分解，工件得到不完全淬火组织，达不到硬度要求。所以小零件冷却液要讲究速度，大工件予冷要掌握时间。
（二）工件装炉量要合理，以1~2层为宜，工件相互重叠造成加热不均匀，导致硬度不匀。
（三）工件入水排列应保持一定距离，过密使工件近处蒸气膜破裂受阻，热处理厂，造成工件接近面硬度偏低。
（四）开炉淬火，不能一口气淬完，应视炉温下降程度，中途闭炉重新升温，石碣热处理，以便前后工件淬后硬度一致。
（五）要注意冷却液的温度，10%盐水的温度如高于60℃，不能使用。冷却液不能有油污、泥浆等杂质，不然，会出现硬度不足或不均匀现象。
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