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低温泵对不锈钢制造的超高的超高真空泵容器排气很适合。20K的低温泵可得到10-8Pa的真空度,4.2K的

低温泵,可得到10*10~10*12Pa的真空度。

低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染,在超高真空范围,低温泵是

可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段。

超高真空机组主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。由于

这些现代科学技术发展的需要,大大促进了超高真空技术的发展,目前超高真空实用真空度已达10-12Pa




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3,依据工艺气量确定规格,机组需要抽除的气体量,一般表示方法有单位时间内通过的质量、标准体积

、工况体积、摩尔数等,必须折算到入口条件下的体积气量,与选型样本对照。但是一般情况下,选型

样本提供了理论抽速数据,但是特定条件下的气量需要计算确定。比如,经过计算工艺要求入口压力为

1000Pa时,里其乐真空泵油供应,气量为500L/s,不能选用主泵为600L/s,需要经过根据前级泵的类型、规格计算。在很

多情况下1台600L/s的罗茨真空机组与6台100L/s旋片泵的实际抽速不是一个相当的数量。




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