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低固有蒸气压、高熔沸点

固有蒸气压太高会限制最终的真空压力。除了油和润滑脂 的真空兼容性,在合金中,必须考虑金属固有的蒸气压或 其在合金中的分压。示例:对于黄铜制品,锌在高真空中 的分压被限制在允许温度大约为 100°C。

耐腐蚀性、耐化学性:

示例:很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。 因此,爱发科真空泵油r7,有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封 件。尤其是薄壁部件,如金属波纹管,爱发科真空泵油r4,容易受到腐蚀。如 有必要,应该在测试中确定其使用寿命。



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由于矩形腔室或类似设计,必须检查表面偏转和出现的张 力。如果它们过高,必须增加壁厚或对该区使用进行加固, 如通额外的焊接肋板。为此,爱发科真空泵油,可以使用采用有限元法 (FEM) 执行机械计算的程序来优化腔室设计。除允许的机械应力 外,也有必要检查在负载条件“外部环境、真空内部”下密封面 是否互相保持齐平。如果密封面歪曲,可能发生泄漏,阻碍 腔室的使用。



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