真空泵主要技术性能（真空度等）达到设计要求或满足工艺要求，附属设备（冷凝器等）齐全；没备运转平稳，声响正常，无过热现象，封闭良好。
旋片式真空泵设备润滑系统完好，润滑油质符合规定要求，并定期进行检查，换油。各种仪表（如真空表等）指示值正确，广州单旋片真空泵，并定期进行校验；各阀门启闭灵活、密封良好，单旋片真空泵厂，无泄漏现象；管道无泄漏，并定期进行检查。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。
工作容积由泵体、齿轮的齿槽及具有侧板功能的轴承套构成。当齿轮旋转时，熔体即进入吸入腔两齿轮的齿槽中，随着转动，熔体从两侧被带入排出腔，齿轮再度啮合，使齿槽中的熔体被挤出排出腔，压送到出口管道。轴承不能使用通常的润滑油脂，以避免污染熔体，通常采用熔体自润滑。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，单旋片真空泵出售，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，单旋片真空泵价格，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
式无油往复泵机组以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。
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