由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，高要XD真空泵，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
式无油往复泵机组以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而导致污染环境的问题。
极限真空概念
“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的最.大真空度。
“极限真空”，表示该状态下，XD真空泵厂家，没有任何物质（包括分子、原子等）存在，这只是理论上才存在的状态，实际是不可能达到的。
比如，某台抽气能力很弱的微型真空泵，它经过无限长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到95KPa，那么95KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的PM950.2。再比如，有一台抽气能力很强的微型真空泵，XD真空泵哪家好，它可以把气压由100KPa降到10 KPa，那么10KPa就是这台泵的极限真空度，XD真空泵厂商，比如成都公司生产的VCH1028。
真空泵主要技术性能（真空度等）达到设计要求或满足工艺要求，附属设备（冷凝器等）齐全；没备运转平稳，声响正常，无过热现象，封闭良好。
旋片式真空泵设备润滑系统完好，润滑油质符合规定要求，并定期进行检查，换油。各种仪表（如真空表等）指示值正确，并定期进行校验；各阀门启闭灵活、密封良好，无泄漏现象；管道无泄漏，并定期进行检查。
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