分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，寿力螺杆立式真空泵，以满足不同场合的需要。
东莞市盛飞真空设备有限公司介绍叶轮形状对水环式真空泵的影响
水环式真空泵叶轮必须满足的设计要求:
(1)应力要求是由材料强度极限决定的。因此，立式真空泵厂家，必须精准预测叶轮的稳定状态以及复杂形状和高转速下的叶轮的振动应力。
(2)流体动力要求就是:解决叶轮在高流速下的大转向、大扩压问题，同时.解决通过高效率、高压力的小流道时所增加的其他麻烦。
(3)尽管叶轮能达到很高效率，但元件匹配是设计的一个基本方而.往往，立式真空泵品牌，由于不合适的匹配，不得不重新设计叶轮，而且，有时为达到最优的匹配，宁可牺牲叶轮的高效率。
由于液环式泵是用液体在泵体内与泵体形成同心的液环，完成能量转换以形成真空或压力。又因液体随叶轮而旋转，小室容积作周期性变化来进行吸气和排气。叶轮与液环之间的小室容积，随叶轮位置的变化而变化.在扩大过程中，小室中形成真空，将气体从吸入孔吸入;而在小室容积缩小过程中，立式真空泵安装，其中气体受到压缩.在小室容积与排气孔连通时.就将压缩的气体排出。在排气时，不可避免地有部分液体要随之排走.影响水环的恒定:水环泵在压缩气体时所产生的压缩热，叶片搅动水环所产生的热，会使水温上升，也会影响泵的真空度和气量。
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