真空泵作为真空干燥这一工艺过程中的关键设备，在选择真空泵类型时应考虑到是否适合现场生产工艺要求。电力变压器的干燥过程实际上是一个除湿过程，无声真空泵厂，抽气有大量的水蒸气要排出，无声真空泵安装，因此选用的前级泵要能承受比较高的水蒸气分压，如选用旋片泵或水环泵。但一般大型电力变压器(电压等级110kV以上)在干燥时真空罐系统的极限真空度要求在1OPa，防腐无声真空泵，水环泵再加上一级罗茨增压泵都远远达不到这个要求(何况还要考虑系统泄漏)。目前国内引进设备中所配进口的单级的旋片真空泵(带气镇阀)极限真空可达到50Pa(国产的单级旋片泵甚至可达到10pa，但性能上与进口有一定差距)，再加上一级罗茨增压泵，无声真空泵品牌，真空度至少可提高到10Pa以下(考虑系统泄漏率l0h内压力上升不大于93Pa)。因此，现在变压器真空干燥设备都趋向于选用旋片式真空泵作为前级真空泵。
同时，抽气介质中混有一大量水分，根据水的饱和蒸气压曲线，当泵温达到60℃，时，水的饱和蒸气压可达19.8kPa，这一分压影响泵的极限真空。如果采用气镇泵，它可以抽吸水蒸气，但它的较高入口压强(水蒸气分压)与泵的掺气量及泵温有关。
在真空度一定的情况下，温度越高，水分越容易挥发，液化到泵油中的水分就很少。因此，让真空泵在尽量高的温度下运行是保证真空泵降低泵油乳化，获得高真空的有效方法。
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分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
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