根据状态、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体（包子体和冷等离子体）。其中高温等离子体的电离度接近1，线路板厂废气处理设备，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。其中电子温度( Te)≥离子温度(Ti)，涂装废气处理设备，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。一般气体放电子体属于低温等离子体。
袋式工业除尘设备的除尘效率进一步提高，排放浓度低于50mg/Nm3已是普遍现象，低于10mg/Nm3也非罕见。这主要是因为主机的滤袋接口技术有了长足进步。过去采取绑扎或螺栓压紧的固袋方式，滤袋接口存在泄漏，废气处理设备，往往使工业除尘设备的除尘效率同滤料相差1~2个数量级。新的固定方式是严格控制花板的袋孔及袋口的加工尺寸，依靠弹性元件使袋口外侧的凹槽嵌入袋孔内，电子厂废气处理设备，两者公差配合，密封性好，从而消除了接口处的泄漏。
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