Edwards半导体专用爱德华真空泵E2M80维修
2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。
3）在泵入口设置吸附阱，爱德华真空泵油代理，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，爱德华真空泵油报价，但价格较贵，青岛爱德华真空泵，因此难以广泛使用。
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喷油：（1）系统突然暴露大气；处理方法：关低真空阀，继续开阀。
（2）油量过多；处理方法：放出多余油量。
（3）转子旋转方向反了；处理方法：重接电源，换向。
泵不抽气：（1）联轴器损坏，电机空转；处理方法：更换联轴器。
（2）双级泵转子十字接头断了，高真空级不转；处理方法：更换。
（3）没打开进气口阀；处理方法：打开阀。
（4）排气阀片碎了；处理方法：更换。
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