压强范围
真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
东莞市盛飞真空设备有限公司分享罗茨真空泵的抽气速率测试
罗茨真空泵抽气速率的测定采用定压法，在泵的进口处直接连接试验罩，泵的出口与前级油封机械泵连接，在进口与出口处均设有真空计测量压力，流量计经调节针阀与试验罩相通。在启动真空泵并达到稳定工况后，方可进行测量。从接近极限真空的适当值开始测定抽气速率，一直测至泵的允许进口压力附近为止，高温真空泵厂，每一个数量级中最少测四点，高温真空泵厂家，其分布应基本符合1， 2， 5， 7的比例，寿力螺杆高温真空泵，例如1xl0-2、2x10-2， 5x10-2和7xl0-2四点，高温真空泵公司，在测量过程中，每次调节针阀使其达到一定压力后，至少经过3min待真空计上压力读数平稳，才能记录压力数据。如果压力有变化，则应采用在测量过程中的压力平均值。
在测量抽气速率的装置中，使用的真空计应为座式压缩真空计和油U型真空计，并经精度10%以上的压缩式真空计校准，真空计的取气口平面应与气流方向平行。流量侧量使用的流量计，在测量范围内必须具有二级精度。
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