BUSCH普旭真空泵RA0100F
3）油封机械真空泵（包括滑阀泵、旋片泵、定片泵）。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前，旋片式油封机械真空泵（如普旭真空泵），做为直排大气的前级泵，使用的量大面广。
4）罗茨真空泵（机械增压泵）。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气，需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气，主要用于造纸工业中。
普旭RA0250D旋片真空泵工作原理，普旭真空泵RA0100F，它有偏心地装在定子腔内的转子及转子槽内的三个旋片，普旭真空泵RA0250D，转子与泵壳内表面或相切或相交，普旭真空泵，转子带动旋片旋转时，旋片借离心力（有的还有弹簧力）紧贴缸壁，把进排气口分割开来，并使进气腔容器周期性扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体，借气体和油的压力推开排气阀排气，从而获得真空。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，一般大中型泵，普旭真空泵RA0202D，二级可同时排气，进气压力低时，气体由高级排入低级，然后再排出泵外。
由于泵是利用吸气容积的变化来抽吸气体的，其名义抽速可按吸气的几何容积来设计计算
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