使导热油泵的工作室不断增大或缩小，当工作室的容积变得最/小时，即与真空泵的入气管连通，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间；当工作室的容积扩大时，即与入气管分开，使容积阀就打开。泵腔内容积不断膨胀与压缩，完成吸气和排气过程，使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子导热油泵内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。因此，真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。
在多数的水环式真空泵中，其工作温度约为15-20℃，肇庆真空泵，它取决于所补充水的温度。实际上，水环泵的极限压力并不十分重要，因为不同的液体，在压力低于50-60hPa时，真空泵哪家好，会发生气蚀现象，泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时，抽速很低，泵入口处的水开始沸腾。当转至泵的出口时，形成的气泡开始破裂。这样就会产生很大的噪声，同时泵的驱动轮和泵腔等部件被逐渐破坏。这种现象通常称作气蚀现象。一旦气蚀现象发生，就要通过小阀引入少量的新鲜空气。振动篦板在这种情况下，在入口官道上开个小孔，以便定量地加入些新鲜的其他，如果使用气体喷射器，气蚀现象就不会产生了。
一台泵与一台水环泵的极限压力是400Pa，这可以满足一般的真空需求，真空泵厂，但它使用的范围会受到一定的限制，如果用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就可以大大提高机组的极限压力（可以达到25Pa）。因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组。如果需要更高的极限压力，可以使用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可以达到1Pa。
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