里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300
高压缩比的涡轮分子泵，以双级旋片式真空泵为前级，可得到5*10-9Pa的真空度。用扩散泵作前级，可
得到10-9Pa真空度。泵入口安装上钛升华阱，获得的真空度高于10-9Pa。
涡轮分子泵对氢的压缩比小，里其乐真空泵VC700，残留气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和前级管道中氢分压
的限制，采用扩散泵作前级，可降低前级管道中的氢分压，进而可提高泵的极限真空度。
②开式系统。化工工业的结晶、蒸馏过程，航空模拟中的充气环境控制试验等。工作过程中不断有气体
补充进来，当充气和抽气达到平衡的时候，也就是系统的压力。通常采用罗茨-液环真空泵、罗茨-螺杆
泵真空机组，里其乐真空泵VC400，通常该类机组可以有很大规格，无锡里其乐真空泵，同时前级泵配置也较大，里其乐真空泵VC500，或者组成机组群联合工作。
③清洁系统。抽除的气体气是空气或者其类似气体，选用罗茨-旋片泵、罗茨-滑阀泵机组简单，容易操
作。
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