东莞市盛飞真空设备有限公司分享罗茨真空泵的抽气速率测试
罗茨真空泵抽气速率的测定采用定压法，在泵的进口处直接连接试验罩，泵的出口与前级油封机械泵连接，在进口与出口处均设有真空计测量压力，流量计经调节针阀与试验罩相通。在启动真空泵并达到稳定工况后，方可进行测量。从接近极限真空的适当值开始测定抽气速率，一直测至泵的允许进口压力附近为止，每一个数量级中最少测四点，其分布应基本符合1，真空泵2x品牌， 2， 5， 7的比例，例如1xl0-2、2x10-2， 5x10-2和7xl0-2四点，在测量过程中，每次调节针阀使其达到一定压力后，真空泵2x公司，至少经过3min待真空计上压力读数平稳，才能记录压力数据。如果压力有变化，则应采用在测量过程中的压力平均值。
在测量抽气速率的装置中，使用的真空计应为座式压缩真空计和油U型真空计，并经精度10%以上的压缩式真空计校准，真空计的取气口平面应与气流方向平行。流量侧量使用的流量计，在测量范围内必须具有二级精度。
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正确的选择真空泵需要注意的事项
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，建议能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），蒸汽式真空泵2x，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，真空泵2x安装，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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