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东莞市盛飞真空设备有限公司介绍油扩散泵的用途

    玻璃油扩散泵目前广泛用于试验室的真空设备、长排车和一些生产设备上。由于玻璃系统具有透明、便于观察内部情况,容易检漏、补漏,制做方便,4l直流真空泵,价格便宜,吸放气少且易于除气等优点,因此尽管它容易破碎,玻璃壁易于渗氦,体积不能做得很大因而抽速不能很大,但仍在中小抽速范围内大量使用着。





玻璃油扩散泵的一种改进扩散增压泵:尽管玻璃油扩散泵已发明多年,直流真空泵生产厂家,但为了扩大使用仍需不断改进。改进的方向大致是在提高其极限真空度和增大抽气范围等方面。

 

 

例如真空冶炼、半导体提纯、特种电真空器件和电光源的排气都要求在10-2~10-5托之间迅速排除大量气体,实验室为创造无噪声、无振动的环境需要长时间内停止机械泵的工作,这些都提出了需要极限真空度高、排气量大和前级耐压高的排气设备等特殊要求。而任何单独的油增压泵或油扩散泵,是很难同时满足上述要求的。油扩散增压泵就能承担这一任务。

 

玻璃超高真空油扩散增压泵,在原超高真空扩散泵的基础上,采取改进扩压器出口管道直径,改变水冷方法,增大油锅面积,增加二、三级喷嘴扩散面积,使用双层水冷帽,并使用275硅油等措施,其极限真空度可抽到5x10-10托,达到普通扩散泵水平。PY-4型泵就是一例,工作范围扩宽到10-1~10-10托之间,能在1x10-3托到5x10-9托达满抽速,直流真空泵厂,这样使用就方便了。它可直接与机械泵串联使用,抽速150~200升/秒;在1x10-3托时的大前级耐压达1.2托,这在玻璃油扩散泵的改进方面是个可喜的努力。

    

      东莞市盛飞真空设备有限公司是专业的真空泵生产厂家,公司的主要产品有:真空泵、真空箱、真空油泵、抽真空泵、高温油泵、小真空泵、吸真空泵真空泵组等。


     分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

     由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,直流真空泵品牌,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。



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