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气体捕集泵是一种将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。它有以下几种。

1)吸附泵。主要依靠具有大表面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵,如吸附阱、吸附剂泵。此外还有连续不断形成新鲜的吸附剂膜的捕集式真空泵,贝克真空泵u4.20代理,如溅射离子泵、热蒸发的升华泵等。

2)低温泵。利用低温表面来冷凝捕集气体的真空泵,如冷凝泵、小型制冷机低温泵等。



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2)涡轮分子泵。泵内装有多级带槽的圆盘或叶片的转子,贝克真空泵,在定子圆盘(或叶片)间旋转,贝克真空泵u4.100代理,转子的圆周线速度很高,贝克真空泵u4.165代理,这种泵通常在分子流状态下工作。

3)复合式分子泵。是由涡轮分子泵和牵引分子泵经优化组合,串联起来工作的一种真空泵,可在分子流或过渡流状态下工作。

(2)喷射真空泵。是利用文丘里效应的压力产生的高速射流把气体输送到泵出口的一种动量传输泵,适于在黏滞流和过渡流状态下工作。




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