旋片式真空泵抽真空原理
旋片式真空泵与其他气体泵中的情况一样，日本出光真空泵油，真空泵入口愉运气体的速串就是它的抽速。由泵的几何条件可获得排气是《转速乘以扫过的体积》，并可测出抽速。其容积效率.排气量小于50L/s的泵为80%，而较大的泵为90%。
结构不同的泵，在极限压强附近的抽速可能是不同的。单级泵对油的流率和工作温度比较敏感，真空泵油生产厂家，而双级泵对级间比较敏感。
级间比是高真空级的排气盆与大气级的排气璧之比。对所有永久气休和蒸气都具有相同的抽速，只要蒸气在泵油中的溶解度与空气的相似并在压缩周期中不凝结。换言之，抽速与气休的密度无关。双级泵很少用于低于1 mT orr的工作压强范围，它的性能曲线常常终止在0.1 mTorr。
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