1）油封式机械泵。是利用油类密封各运动部件的间隙，减少有害空间的一种旋转式变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故称气镇式真空泵。按其结构特点分为：旋片泵、定片泵、滑阀泵、余摆线泵以及多室旋片泵等。如：BUSCH普旭真空泵
2）无油真空泵。目前所谓的干式真空泵。一般通用的说法是：能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作的真空泵，在泵的抽气流道（如泵腔）中，普旭真空泵配件，不能使用任何油类和密封液体，排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。按其工作原理分，也有容积式干式泵，普旭真空泵排气滤芯，如多级罗茨泵、多级活塞泵、爪式泵、螺杆泵、涡旋泵等；此外还有动量传输式干式泵，如涡轮干式泵、离心干式泵等。这种泵的抽气不再有油的污染了，普旭真空泵，是进气开发研制较多的泵种。
BUSCH普旭RA0025/0040/0063/0100/0160/0202/0302/0630真空度不够的原因：
1）进气管路及连接处漏气，处理方法：排除漏气因素或临时用真空封泥封堵。
2）所抽吸气体温度过高，处理方法：在进气管路上加装冷凝装置，降低进气温度。
3）油量不足或油质不对，处理方法：增添新的VM68/VM100真空油。
5）油温太低，处理方法：在严寒季节，普旭真空泵维修包，室温太低影响油温度，等泵运转半小时后，方能进入正常情况。
6）进气管路连接处的密封件损坏，处理方法：更换新的普旭密封套件。
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