1）油封式机械泵。是利用油类密封各运动部件的间隙，减少有害空间的一种旋转式变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故称气镇式真空泵。按其结构特点分为：旋片泵、定片泵、滑阀泵、余摆线泵以及多室旋片泵等。如：BUSCH普旭真空泵
2）无油真空泵。目前所谓的干式真空泵。一般通用的说法是：能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作的真空泵，在泵的抽气流道（如泵腔）中，不能使用任何油类和密封液体，排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。按其工作原理分，也有容积式干式泵，普旭真空泵RA0202D，如多级罗茨泵、多级活塞泵、爪式泵、螺杆泵、涡旋泵等；此外还有动量传输式干式泵，如涡轮干式泵、离心干式泵等。这种泵的抽气不再有油的污染了，是进气开发研制较多的泵种。
1、保护系统，故障停泵的瞬间，普旭真空泵RA0302D，真空泵入口和系统连接处是真空状态，泵的出口一般与大气相通，压力会将气体压入系统破坏系统真空。为保护系统通常会在泵的入口和系统连接处加装止回阀。
2、保护真空泵本身，普旭真空泵，气体倒灌会冲击叶轮，使泵反向旋转，为保护泵体及其他设备，普旭真空泵RA0040F，一般在泵出口处加装止回阀。
现在越来越多的机组将止回阀安装到出口，可起到保护泵和系统的作用。如系统要求严格，也有加装两个止回阀的。
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