BUSCH普旭真空泵RA0100F
3）油封机械真空泵（包括滑阀泵、旋片泵、定片泵）。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前，旋片式油封机械真空泵（如普旭真空泵），普旭真空泵RA0040F，做为直排大气的前级泵，使用的量大面广。
4）罗茨真空泵（机械增压泵）。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气，需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气，主要用于造纸工业中。
真空泵极限压力达不到：首先应该检查气镇阀是否关闭，普旭真空泵RA0025F，每天新的普旭真空泵出厂都会检测极限压力，普旭真空泵RA0100F，如果发现有漏气现象，应该一一检查进气口、进气管道、阀门、管道等；轴封、油封失效，密封件老化也会造成漏气，泵腔内磨损、腐蚀使的运转间隙增大；确定油孔无漏油现象时，潮州普旭真空泵，用手放在排气口上，如果有被吸的感觉，则可能是排气阀失效。
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