Edwards半导体专用爱德华真空泵E2M80维修
2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。
3）在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但价格较贵，半导体专用真空泵油，因此难以广泛使用。
检查维护
为延长真空泵的使用寿命和无故障工作时间 ， 应当对爱德华旋片真空泵进行日常检查维护 ， 建议按表 1 进行定期检查维护 ，电子行业真空泵油， 表中的维护频次可根据维修经验进行适当调整。
检查泵油油位
泵启动前 ，无锡真空泵油， 应先从油窗检查油位是否可见并在“ M IN ”刻线以上 ， 只有达到这个位置 ，光伏行业专用真空泵油， 真空泵才能正常运转。另外 ， 启动新泵或真空泵有相当一段时间没有运行时 ， 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3～ 5 mm)，这个下降表明泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时 ，应及时注油至工作刻线范围内。
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