防止水蒸气对真空泵的污染
水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与真空泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使真空泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的极限真空度降落。为此，防止水蒸气对真空泵的污染很重要。。
1、选用带有气镇装置的油封机械泵。
2、装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用。
3、运用吸水性强的单调剂。
4、运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。
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旋片式真空泵抽真空原理
旋片式真空泵与其他气体泵中的情况一样，真空泵入口愉运气体的速串就是它的抽速。由泵的几何条件可获得排气是《转速乘以扫过的体积》，并可测出抽速。其容积效率.排气量小于50L/s的泵为80%，而较大的泵为90%。
结构不同的泵，真空泵油过滤装置，在极限压强附近的抽速可能是不同的。单级泵对油的流率和工作温度比较敏感，德国普旭真空泵油，而双级泵对级间比较敏感。
级间比是高真空级的排气盆与大气级的排气璧之比。对所有永久气休和蒸气都具有相同的抽速，真空泵油，只要蒸气在泵油中的溶解度与空气的相似并在压缩周期中不凝结。换言之，抽速与气休的密度无关。双级泵很少用于低于1 mT orr的工作压强范围，它的性能曲线常常终止在0.1 mTorr。
真空泵连续使用3-4个月以后，即应换油。在湿度较大的环境下使用，应酌情缩短换油期。换下的油可经清洁去湿处理后再用。
换油方法如下:将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋下，注油塞和放油塞，放出污油，断续启动电机卜6次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200-300cc，断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样，经2~3次重复清洗，放光清洗用All，旋上放Ill塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
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