捷扬光电的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控；其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的捷扬光谱分析软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值，光谱检测，可以实现膜层厚度的在线监测，微型光谱仪，并可以输出到Excel文件进行过程控制。
HCE系列光纤光谱仪真空镀膜的监控
光纤光谱仪为真空室内镀膜过程的监控提供了一种灵活的测量手段，光谱仪，它可以方便地把光引入并引出真空室或洁净工作仓，紫外可见近红外光谱仪，同时选择镀膜过程分析所需要测量的参数。在实际的在线生产中，可以在工作仓中放置几个探头来检测整个生产过程。图示为真空室镀膜过程监控的典型实验布局。在这里一个反射型光纤探头用来在线监测镀膜过程。氘-卤素灯发出的光被导入真空室并传导到反射探头上，反射光由反射探头传导到光谱仪中；也可以再增加一个通道作为参考测量来补偿光源的波动。
嘉仪自动化(图)_微型光谱仪_光谱仪由东莞市嘉仪自动化设备科技有限公司提供。行路致远，砥砺前行。东莞市嘉仪自动化设备科技有限公司（www.canneed.com）致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，更矢志成为机械及工业制品项目合作较具影响力的企业，与您一起飞跃，共同成功!
