BUSCH普旭真空泵RA0100F
3）油封机械真空泵（包括滑阀泵、旋片泵、定片泵）。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前，旋片式油封机械真空泵（如普旭真空泵），BUSCH RA0040F，做为直排大气的前级泵，使用的量大面广。
4）罗茨真空泵（机械增压泵）。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气，需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气，主要用于造纸工业中。
1、保护系统，故障停泵的瞬间，BUSCH，真空泵入口和系统连接处是真空状态，BUSCH RA0202D，泵的出口一般与大气相通，压力会将气体压入系统破坏系统真空。为保护系统通常会在泵的入口和系统连接处加装止回阀。
2、保护真空泵本身，气体倒灌会冲击叶轮，使泵反向旋转，BUSCH RA0025F，为保护泵体及其他设备，一般在泵出口处加装止回阀。
现在越来越多的机组将止回阀安装到出口，可起到保护泵和系统的作用。如系统要求严格，也有加装两个止回阀的。
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