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正确的选择真空泵需要注意的事项

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,leybold大型真空泵,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,建议达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,大型真空泵生产厂家,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

 

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,大型真空泵价格,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

 

 

 

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真空泵的特性:

 1.描绘精细.布局巩固.重量轻.易于装置及保护.

 2.空气冷却(气冷式)

 3.值结式驱动,可防止转变皮带及齿轮之松懈或损耗.

 4.含高效率油雾过滤器,不须将气体排出室外.

 5.进气口有逆止阀,当泵浦中止时,此逆止阀可阻隔泵浦于体系,防止真空油逆流.

 6.低轰动,不需用根底螺拴固定泵浦.

 7.工作声响小.

 8.具气体压载阀,可适用於蒸气之制程.

 9.即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦进口之水蒸气,会从泵浦出气口彻底排出,而不会在泵浦内发作凝聚表象.



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