1、保护系统，故障停泵的瞬间，真空泵入口和系统连接处是真空状态，泵的出口一般与大气相通，压力会将气体压入系统破坏系统真空。为保护系统通常会在泵的入口和系统连接处加装止回阀。
2、保护真空泵本身，气体倒灌会冲击叶轮，牡丹江BUSCH真空泵，使泵反向旋转，BUSCH真空泵r5，为保护泵体及其他设备，一般在泵出口处加装止回阀。
现在越来越多的机组将止回阀安装到出口，可起到保护泵和系统的作用。如系统要求严格，也有加装两个止回阀的。
旋片的种类：真空泵旋片材质有铝合金、合金钢、玻璃纤维树脂、炭精旋片。其功能都是一样的，BUSCH真空泵RA0040F，但材质不同看，其性能也不一样。
1）使用金属材质的叶片噪音相对于树脂叶片和碳片较大，优点是：耐磨，叶片在转子的带动下甩开的速度快。
2）纤维树脂叶片噪音相对于金属材质小，其中添加多种聚合材料，比一般纤维树脂材料更耐磨。
3）玻璃石墨材质的碳片（叶片）声音小，但相比较金属叶片不耐磨损，随着现代的工艺发展，玻璃碳石墨材质叶片硬度和韧度比以前的更耐磨。
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