真空泵连续使用3-4个月以后，即应换油。在湿度较大的环境下使用，应酌情缩短换油期。换下的油可经清洁去湿处理后再用。
换油方法如下:将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋下，注油塞和放油塞，放出污油，断续启动电机卜6次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200-300cc，海南真空泵油，断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样，经2~3次重复清洗，放光清洗用All，旋上放Ill塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
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