普旭真空泵温度太高：是指排气阀附近的油温超过了设备的规定值，真空泵温度升高会使真空泵油的粘度降低，普旭真空泵RA0302D，真空泵油的蒸汽压和饱和度也会同时升高，普旭真空泵RA0025F，使得真空泵的抽气速率降低、密封件老化、运转间隙缩小，真空泵温度太高的原因可能是真空泵工作环境温度太高，普旭真空泵RA0040F，进气温度太高，真空泵油太少，泰安普旭真空泵，真空泵油循环不佳，散热器堵塞失效或者损坏。
普旭真空泵漏油，故障原因可能是：油封老化，密封件失效，放油塞，停机后没有关闭气镇阀导致回油。
德国BUSCH普旭真空泵RA0025F/RA0040F
8）吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。
9）钛泵（包括溅射离子泵、升华泵）。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理和表面化学、热核物理、等离子体物理和超导技术等工作中使用。
10）分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。
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