在滤液出口处形成负压作为过滤的推动力。工业真空过滤器操作真空的压力为(2.5～8.0)×105帕。过滤时悬浮液的温度应低于操作真空下滤液的汽化温度。这种过滤器又分为间歇操作和连续操作两种。间歇操作的真空过滤机可过滤各种浓度的悬浮液。真空过滤器在容器外壳内充满悬浮液。两侧包有滤布的滤叶浸于悬浮液中，滤叶内腔与真空系统连通。滤液吸出后由导管引出，积在滤叶表面的滤渣在停机后清除。连续操作的真空过滤器适于过滤含固体颗粒较多的稠厚悬浮液。转鼓真空过滤器、内滤面转鼓真空过滤器、 圆盘真空过滤器和翻斗真空过滤器的工作原理均相似。整个过滤面分成多个隔开的过滤室，化学过滤器安装，每个回转的过滤室通过分配阀与各固定管顺序接通，以吸出过滤室内的滤液、洗液，或送入压缩空气。每个过滤室回转一圈完成过滤操作的全过程，多个过滤室的操作衔接起来即形成连续过滤。带式真空过滤器的结构与带式输送机相似，有一连续滤带，适用于易过滤的悬浮液。带式真空过滤器、内滤面转鼓真空过滤器和翻斗真空过滤器均在过滤介质(滤布)上部加料，尤其适用于固体颗粒密度大、沉降快的悬浮液。
中国古代即已应用过滤技术于生产，化学过滤器厂家，公元前200年已有植物纤维制作的纸。公元105年蔡伦改进了造纸法。他在造纸过程中将植物纤维纸浆荡于致密的细竹帘上。水经竹帘缝隙滤过，一薄层湿纸浆留于竹帘面上，工业用化学过滤器，干后即成纸张。
最早的过滤大多为重力过滤，后来采用加压过滤提高了过滤速度，进而又出现了真空过滤。20世纪初发明的转鼓真空过滤器实现了过滤操作的连续化。此后，各种类型的连续过滤器相继出现。间歇操作的过滤器(例如板框压滤器等)因能实现自动化操作而得到发展，过滤面积越来越大。为得到含湿量低的滤渣，机械压榨的过滤器得到了发展。
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