电磁微型马达的效率随尺寸的下降而降低，有更多电能转化为热能，小马达，而压电微型马达的效率则保持恒定。在相同的体积和重量下，压电微型马达的储能密度较电磁微型马达高10倍。压电微型马达配置成紧凑的高速微定位工作台，体积比火柴盒更小——压电驱动工作台目前用于手机摄像头中的自动聚焦器械中。
压电步进微型马达通常由几个独立的压电传动器组成，通过夹紧/松开和延伸/收缩周期协调交替形成移动。每个延伸周期仅提供几微米的位移，但工作频率高达数百甚至数千赫兹，以实现连续移动。尽管步长逐渐递增，小马达工厂，从几纳米到几微米，但它们移动的速度可达每秒10 mm，每秒移动数千步。
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