如果真空泵油雾分离器压力表指示的压力比通常低，或驱动电机消耗的电流比通常少，原因是有一个油雾分离器损坏，需要更换油雾分离器。
如果排放的气体中含有油，原因是油雾分离器堵塞或损坏，须更换。真空泵油雾分离器不能彻底清洗干净，必须更换堵塞的油雾分离器。
更换真空泵油雾分离器前请先关闭真空泵并切断电源，确保真空泵已通大气压，从油箱上打开排气口盖板，真空泵，借助专用内六用扳手拆下排气过滤器，将装有密封圈的新的油雾分离器开口端安装在油箱内正确位置上。
真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。
因此使用真空泵时必须注意下列几点：
在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置。
蒸馏前必须用水泵彻底抽去系统中有机溶剂的蒸气。
如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。
减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
使导热油泵的工作室不断增大或缩小，当工作室的容积变得最/小时，真空泵批发，即与真空泵的入气管连通，真空泵供应，于是气体就进入逐渐变大的工作室空间；当工作室的容积扩大时，即与入气管分开，使容积阀就打开。泵腔内容积不断膨胀与压缩，完成吸气和排气过程，使容器内气体逐渐排出达到需要的真空度。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子导热油泵内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。因此，真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。
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