利用大气的压力装夹薄片工件来进行磨削加工。其工作原理为：夹具体上设有橡胶密封圈，把薄片工件放在橡胶密封圈上，从而使工件与夹具体之间形成密封腔。用真空泵将室内空气从抽气孔抽出，这时工件被夹紧。由于夹紧力小，可采用圆周磨削方法进行磨削加工。当磨削好薄片工件一端平面后，磨削薄片工件另一端平面时，可采用上述方式进行，同样可得到满意的结果。
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