真空泵是运用机械、物理、化学或物理化学的办法对被抽容器进行抽气而取得真空的器材或设备。跟着真空应用的开展，无油真空泵安装，品种已开展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的作业原理，根本上能够分为两品种型，即气体传输泵和气体捕集泵。跟着真空应用技术在出产和科学研究范畴中对其应用压强规模的需求越来越宽，大多需求由几种真空泵组成真空抽气体系一起抽气后才干满意出产和科学研究进程的需求，因为真空应用部分所触及的作业压力的规模很宽，因而任何一品种型的真空泵都不能够彻底适用于一切的作业压力规模，无油真空泵公司，只能依据不一样的作业压力规模和不一样的作业需求，运用不一样类型的真空泵。为了运用方便和各种真空技术进程的需求，有时将各种真空泵按其功能需求组合起来，以机组型式应用。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，无油真空泵维修，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，新型无油真空泵，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
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