泵每次换油时必须清理泵油过滤器。
1. 将泵与电源隔离开。
2. 排出泵油 。
3. 从滤油器的封盖上拧下 7 个固定螺钉 。从泵的端板上卸下滤油器封盖及其衬垫。
5. 从适配件上拧下滤芯。在适当的清洗溶液中清洗滤芯。将滤油器晾干。
6. 将滤芯牢牢拧回适配件中。将组合件装回到泵的端板中，然后用 7 个固定螺钉紧固住滤油器封盖
及其衬垫。
推荐的泵油
建议用户采用本手册规定的 Edwards 泵油。 请注意，江门爱德华，PFPE 就绪泵不随泵提供泵油。 如果采用其他泵油，爱德华E1M175维修，泵的极
限真空可能高于采用所推荐泵油时的极限真空。 但是，应当注意，其他泵油可能含有聚合物，爱德华E1M28维修，在使用过程中这些聚合物
可能发生降解而使油变稀。 因此，其需要换油的频度会高于 Edwards 泵油。 如有必要，应根据用户的经验调整维护时间
表。
如果用户泵送氧气或其他危险气体和蒸气，则必须采用化学性质惰性且稳定的泵油 （如全氟聚醚）。有关泵送危险气体
和蒸气的说明，参见 Edwards 有关真空泵及真空系统安全性的指导
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